High Cu diffusion resistance in ultrathin multiquasi-amorphous CVD-Ti/TiNx films

Keng Liang Ou, Shi Yung Chiou, Ming Hong Lin

研究成果: 雜誌貢獻文章同行評審

5 引文 斯高帕斯(Scopus)

指紋

深入研究「High Cu diffusion resistance in ultrathin multiquasi-amorphous CVD-Ti/TiNx films」主題。共同形成了獨特的指紋。

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