積體電路金屬相關製程與材料簡介

Chi-Chang Wu

研究成果: 雜誌貢獻文章同行評審

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頁(從 - 到)142-153
期刊電子月刊
出版狀態已發佈 - 2008

Keywords

  • 金屬連線
  • 金屬矽化物
  • 金屬閘極

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