積體電路金屬相關製程與材料簡介

Chi-Chang Wu

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageTraditional Chinese
Pages (from-to)142-153
Journal電子月刊
Publication statusPublished - 2008

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積體電路金屬相關製程與材料簡介. / Wu, Chi-Chang.

In: 電子月刊, 2008, p. 142-153.

Research output: Contribution to journalArticle

Wu, Chi-Chang. / 積體電路金屬相關製程與材料簡介. In: 電子月刊. 2008 ; pp. 142-153.
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TY - JOUR

T1 - 積體電路金屬相關製程與材料簡介

AU - Wu, Chi-Chang

PY - 2008

Y1 - 2008

KW - 金屬連線

KW - 金屬矽化物

KW - 金屬閘極

UR - http://readopac2.ncl.edu.tw/nclJournal/search/detail.jsp?sysId=0006229611&dtdId=000040&search_type=detail&la=ch

M3 - 文章

SP - 142

EP - 153

JO - 電子月刊

JF - 電子月刊

ER -